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Parameter

Type E-1

Type E-1.1

Type E-1.2

Linewidth(microns)

1.0-0.5

0.5-0.25

0.25-0.18

Resistivity,25℃

18.2

18.2

18.2

*Temperature

*Pressure

Endotoxin unit(EU/ml)

0.03

0.03

0.03

TOC(μg/L)

5

2

1

Dissolved oxygen(μg/L)

1

1

1

Residue after evaporation(μg/L)

1

0.5

0.1

SEM particles/L(micron range)

0.1-0.2

1000

1000

200

0.2-0.5

500

500

100

0.5-0.1

50

50

1

10

-

-

On-line particles/L(micron range)

Particles(>0.05micron)

0.05-0.1

500

500

100

0.1-0.2

300

300

50

0.2-0.3

50

50

20

0.3-0.5

20

20

10

>0.5

4

4

1

Bacteria/100 mL

100ml Sample

1

1

1

1L Sample

1

1

0.1

Silica

Silica-total(μg/L)

3

0.5

0.5

Silica-dissolved(μg/L)

1

0.1

0.05

lons and metals(μg/L)

Ammonium

0.1

0.10

0.05

Bromide

0.1

0.05

0.02

Chloride

0.1

0.05

0.02

Fluoride

0.1

0.05

0.03

Nitrate

0.1

0.05

0.02

Nitrite

0.1

0.05

0.02

Phosphate

0.1

0.05

0.02

Sulfate

0.1

0.05

0.02

Aluminum

0.05

0.02

0.005

Barium

0.05

0.02

0.001

Boron

0.05

0.02

0.005

Calcium

0.05

0.02

0.002

Chromium

0.05

0.02

0.002

Copper

0.05

0.02

0.002

Iron

0.05

0.02

0.002

Lead

0.05

0.02

0.005

Lithium

0.05

0.02

0.003

Magnesium

0.05

0.02

0.002

Manganese

0.05

0.02

0.002

Nicke

0.05

0.02

0.002

Potassium

0.05

0.02

0.005

Sodium

0.05

0.02

0.005

Strontium

0.05

0.02

0.001

Zinc

0.05

0.02

0.002

*Temperature and pressure values to be determined